VIP Члены
Установка для отверждения фоторезиста Yamato DTPN - 612GCT01
Производительность (в соответствии со спецификацией JTM) Используемый диапазон температур: комнатная температура + 50 - 500 °C Точность регулирования
Подробная информация о продукции
Производительность (по спецификации JTM)
Диапазон используемых температур: комнатная температура + 50 - 50°C
Точность регулирования температуры: ±0. 5°C (at45°C без нагрузки)
Точность распределения температуры: ±5°C (at45°C без нагрузки)
Стандартная точка JTM измеряется в 9 точках в зависимости от действительного размера 1 / 6, включая центральную точку в канавке
Запуск: Запуск программы (нагрев, постоянная температура, охлаждение, таймер)
Функция таймера: 1 мин - 99h59min, 100 - 999h,
Скорость нагрева: 40min, (150 - 450 °C ≥ 7.5°C / min, в среднем по всему процессу)
Чистота: 100 градусов при постоянной температуре
Концентрация кислорода: менее 20 ppm
Вакуум: ниже 100 Па
Время прибытия вакуума: около 15 мин.
индикатор рабочего состояния: рабочий процесс на сенсорном экране (вытяжка воздуха - N2 замена - определение концентрации кислорода - в нагревании, поддержание N2 - в постоянном состоянии - в охлаждении - вытяжка воздуха - в воздухе - в воздухе - в конце)
Структура
Внешний материал: холодно окрашенная листовая сталь, поверхностное опрыскивание
Материал компрессора: нержавеющая сталь SUS 316,
Отключающий материал: силикатно - алюминиевый хлопчатобумажный лист
Обогреватель: армированная труба из нержавеющей стали 380V4.0KwX3 = 12Kw
Нагревательная панель 220V300 w X 14 = 4.2Kw
Комбинированный вентилятор: центробежные ветровые лопасти fi 230 x 130 - 1, ветер L = 1800 м3 / ч
Электродвигатель с частотной модуляцией 380В (1450 оборотов / мин)
сопло N2: сопло N2
Водяной охладитель: SUS змеевиковый теплообменник
Фильтрующая сеть: высокотемпературная фильтрующая сеть HEPA (скорость фильтрации 0,3 мкм частиц 999995% или более)
Дверь: одна дверь прямо перед дверью, отверстие двери W660×H660
Внешний размер: корпус W1150 × D1215 × H1697 (за исключением установки и выступов)
Размер камеры: W600 × D600 × H600 мм
Объем: 216 л
Количество приёмных секций сарая: 17 секций / 30 мм (равномерное распределение высоты по направлению)
Количество навесных панелей: 2
Внешний впускной штуцер N2: быстросменный штуцер Фи10 мм.
Соединения охлаждающей воды: быстросменные фитинги Фи10 мм и Фи16 мм.
Испытательное отверстие: 1 отверстие для точного тестирования распределения температуры KF16 слева, 2 штуцера с внутренней резьбой 1 / 4 для определения концентрации кислорода и чистоты.
Электромагнитный клапан: управляет вакуумом, N2, последовательностью пропускания воды.
Вес: 320 г
Источник питания: AC380V 3nenenebj 5W 50Hz 30A
Инвентаризация
Регулятор температуры: ЖК - сенсорный экран плюс PLC, PID - управление, ЖК - дисплей, сенсорная настройка клавиш.
Датчик температуры: K - образная термопара 4 шт.
Устройство контроля давления: цифровое
Преобразователь давления: относительный преобразователь давления
Дифференциальный манометр: используется для измерения перепада давления между внутренним желобом и кондиционером воздуха в качестве основы для определения того, должен ли фильтр быть очищен.
Преобразователь частоты: использование и регулирование скорости вращения вентилятора (частота вентилятора устанавливается сенсорным экраном)
Стеклянный роторный расходомер: a.300L / min для быстрого и гарантированного содержания кислорода в ванне ниже 10 ppm.
b.15-25L / мин Используется для поддержания концентрации кислорода в ванне ниже 10 ppm с дополнительным подогревателем, обеспечивающим температуру N2 в ванне и устанавливающим температуру в ванне без нарушения однородности в ванне.
Анализатор концентрации кислорода: определение концентрации кислорода в баке, при нагревании ниже 20 ppm,
Вакуумный насос: двухступенчатый вакуумный насос с масляным ротором
Устройство для предотвращения перепадов температуры: для предотвращения аномального повышения температуры,
Электромагнитные клапаны: используются для управления вакуумом, N2 и открытием и закрытием охлаждающей воды.
Обязательный замок двери: 2 места
Защитные устройства
Переключатель защиты от утечки: герметичный выключатель защиты от утечки 380В
Утечка, короткое замыкание, защита от перенапряжения
Номинальный ток чувствительности 30 мА
контур предотвращения перегрева: при аномальном перепаде температуры отключается питание нагревателя, срабатывает ветровая лопасть двигателя и вызывает тревогу
Двигатель вентилятора: когда двигатель перегружен, питание нагревателя отключается от защитного контура и сигнализация
Аномалия N2: недостаточный расход азота, остановка нагрева и тревога
Аномальная охлаждающая вода: недостаточный расход, тревога
Замок двери: автоматический замок двери во время работы
Дверный переключатель: дверь не закрыта хорошо, машина не запускается, нажмите клавишу запуска, дайте сигнал тревоги.
Аномальное отображение: при возникновении вышеуказанной аномалии, на сенсорном экране отображается аномальное содержимое сигнала тревоги, звонит зуммер.
Диапазон используемых температур: комнатная температура + 50 - 50°C
Точность регулирования температуры: ±0. 5°C (at45°C без нагрузки)
Точность распределения температуры: ±5°C (at45°C без нагрузки)
Стандартная точка JTM измеряется в 9 точках в зависимости от действительного размера 1 / 6, включая центральную точку в канавке
Запуск: Запуск программы (нагрев, постоянная температура, охлаждение, таймер)
Функция таймера: 1 мин - 99h59min, 100 - 999h,
Скорость нагрева: 40min, (150 - 450 °C ≥ 7.5°C / min, в среднем по всему процессу)
Чистота: 100 градусов при постоянной температуре
Концентрация кислорода: менее 20 ppm
Вакуум: ниже 100 Па
Время прибытия вакуума: около 15 мин.
индикатор рабочего состояния: рабочий процесс на сенсорном экране (вытяжка воздуха - N2 замена - определение концентрации кислорода - в нагревании, поддержание N2 - в постоянном состоянии - в охлаждении - вытяжка воздуха - в воздухе - в воздухе - в конце)
Структура
Внешний материал: холодно окрашенная листовая сталь, поверхностное опрыскивание
Материал компрессора: нержавеющая сталь SUS 316,
Отключающий материал: силикатно - алюминиевый хлопчатобумажный лист
Обогреватель: армированная труба из нержавеющей стали 380V4.0KwX3 = 12Kw
Нагревательная панель 220V300 w X 14 = 4.2Kw
Комбинированный вентилятор: центробежные ветровые лопасти fi 230 x 130 - 1, ветер L = 1800 м3 / ч
Электродвигатель с частотной модуляцией 380В (1450 оборотов / мин)
сопло N2: сопло N2
Водяной охладитель: SUS змеевиковый теплообменник
Фильтрующая сеть: высокотемпературная фильтрующая сеть HEPA (скорость фильтрации 0,3 мкм частиц 999995% или более)
Дверь: одна дверь прямо перед дверью, отверстие двери W660×H660
Внешний размер: корпус W1150 × D1215 × H1697 (за исключением установки и выступов)
Размер камеры: W600 × D600 × H600 мм
Объем: 216 л
Количество приёмных секций сарая: 17 секций / 30 мм (равномерное распределение высоты по направлению)
Количество навесных панелей: 2
Внешний впускной штуцер N2: быстросменный штуцер Фи10 мм.
Соединения охлаждающей воды: быстросменные фитинги Фи10 мм и Фи16 мм.
Испытательное отверстие: 1 отверстие для точного тестирования распределения температуры KF16 слева, 2 штуцера с внутренней резьбой 1 / 4 для определения концентрации кислорода и чистоты.
Электромагнитный клапан: управляет вакуумом, N2, последовательностью пропускания воды.
Вес: 320 г
Источник питания: AC380V 3nenenebj 5W 50Hz 30A
Инвентаризация
Регулятор температуры: ЖК - сенсорный экран плюс PLC, PID - управление, ЖК - дисплей, сенсорная настройка клавиш.
Датчик температуры: K - образная термопара 4 шт.
Устройство контроля давления: цифровое
Преобразователь давления: относительный преобразователь давления
Дифференциальный манометр: используется для измерения перепада давления между внутренним желобом и кондиционером воздуха в качестве основы для определения того, должен ли фильтр быть очищен.
Преобразователь частоты: использование и регулирование скорости вращения вентилятора (частота вентилятора устанавливается сенсорным экраном)
Стеклянный роторный расходомер: a.300L / min для быстрого и гарантированного содержания кислорода в ванне ниже 10 ppm.
b.15-25L / мин Используется для поддержания концентрации кислорода в ванне ниже 10 ppm с дополнительным подогревателем, обеспечивающим температуру N2 в ванне и устанавливающим температуру в ванне без нарушения однородности в ванне.
Анализатор концентрации кислорода: определение концентрации кислорода в баке, при нагревании ниже 20 ppm,
Вакуумный насос: двухступенчатый вакуумный насос с масляным ротором
Устройство для предотвращения перепадов температуры: для предотвращения аномального повышения температуры,
Электромагнитные клапаны: используются для управления вакуумом, N2 и открытием и закрытием охлаждающей воды.
Обязательный замок двери: 2 места
Защитные устройства
Переключатель защиты от утечки: герметичный выключатель защиты от утечки 380В
Утечка, короткое замыкание, защита от перенапряжения
Номинальный ток чувствительности 30 мА
контур предотвращения перегрева: при аномальном перепаде температуры отключается питание нагревателя, срабатывает ветровая лопасть двигателя и вызывает тревогу
Двигатель вентилятора: когда двигатель перегружен, питание нагревателя отключается от защитного контура и сигнализация
Аномалия N2: недостаточный расход азота, остановка нагрева и тревога
Аномальная охлаждающая вода: недостаточный расход, тревога
Замок двери: автоматический замок двери во время работы
Дверный переключатель: дверь не закрыта хорошо, машина не запускается, нажмите клавишу запуска, дайте сигнал тревоги.
Аномальное отображение: при возникновении вышеуказанной аномалии, на сенсорном экране отображается аномальное содержимое сигнала тревоги, звонит зуммер.
Онлайн - запросы
-
Контактные лица
-
Компания
-
Телефон
-
Электронная почта
-
Микросхема
-
Код проверки
-
Содержание сообщения
-