Шэньчжэньская компания Wofei Technology Co., Ltd. специализируется на разработке и производстве высокочистых технологических газовых систем

Адсорбционное оборудование WFS - 100F Local Scrubber для обработки выхлопных газов может обрабатывать типы газов, включая специальные газы, используемые в процессах травления и химического осаждения в газовой фазе в полупроводниковой, жидкокристаллической и солнечной промышленности, в основном SiH4、SiH2Cl2、PH3、B2H6、TEOS、H2、CO、NF3、SF6、C2F6、WF6、NH3、N2O И так далее.