Силан является важным новым материалом продукта, широко используется в LCD пластины дисплея, полупроводников, солнечной энергии и других отраслях промышленности, с развитием полупроводниковой промышленности Китая, внутренний спрос на силикон растет с каждым днем, но поскольку технология производства силикона в Китае находится в зачаточном состоянии, как анализировать чистоту силикона - это проблема, с которой сталкиваются различные производители
Хорошо известно, что анализ высокочистых газов является сложным процессом и одной из трудностей хроматографического анализа; Силан из - за особенностей его физических свойств, сложность его анализа может быть описана как еще более сложная, не только требует высокочувствительных детекторов, но и решает проблему кислородного горения силана.Гелиевый ионизированный газовый хроматограф GC - 9560 - HGПреодолевая многочисленные технические трудности в процессе анализа силана, используя высокочувствительный детектор ионизации гелия, оснащенный специальной системой отбора проб силана, хорошо завершил анализ следов примесей класса ppb в силиане.

Применимые критерии:

• GB / T 15909 - 2009 Газосилкан для электронной промышленности

GC - 9560 - HG силиконовый анализатор гелиевой ионизированной газовой хроматографииПрименяется для обнаружения следовых примесей в газах высокой чистоты и газах электронной промышленности с небольшой концентрацией обнаружения Zui до 5 ppb. Инструменты оснащены высокочувствительными детекторами ионизации гелия с использованием технологии центральной резки компании Huari *, а входные клапаны оснащены входными клапанами с продувочными защитными газопроводами; Вся машина использует многоцилиндрическую конструкцию коробки, различные хроматографические колонны могут отдельно контролировать температуру, zui большой предел оптимизации условий разделения, а также удобство различных хроматографических колонн для старения, удобное обслуживание прибора; Прибор оснащен системой автоматической коррекции давления входящего образца, которая преодолевает аналитические ошибки, вызванные различными исходными газами из - за различной молекулярной массы.

I. СОДЕРЖАНИЕGC - 9560 - HG силиконовый анализатор гелиевой ионизированной газовой хроматографииПреимущества производительности:
Газовая промышленность является основной отраслью народного хозяйства, « кровью» промышленного производства, и с быстрым развитием народного хозяйства быстро растет спрос на газ высокой чистоты и газ для электронной промышленности. Обнаружение следовых примесей является ключевым звеном в производстве высокочистого газа и газа для электронной промышленности, а анализ следовых примесей всегда был трудной задачей для хроматографического анализа. Традиционные хроматографические детекторы, такие как тепловая проводимость, не могут быть квалифицированы для анализа высокочистого газа.
Импульсный разрядный детектор ионизации гелия (PDHID) - это универсальный детектор с очень высокой чувствительностью, который хорошо реагирует почти на все неорганические и органические соединения и особенно подходит для анализа газов высокой чистоты и является * детектором, способным обнаруживать уровни ng / g (ppb). Недавно разработанный национальный стандарт предусматривает замену оригинальных термопроводящих и других детекторов на гелиевые ионизационные детекторы, также разрабатывается национальный стандарт « Газоанализация гелиевой ионизированной газовой хроматографии», который берет на себя основную редакционную задачу.

PDHID Предел обнаружения примесей газа в силиане (ppb)

II.GC-9560-HGНастройка системы:

(1) Гелиевый ионизированный газофазный хроматограф GC - 9560 - HG (2) Гелиевый ионизационный детектор (PDHID)

(3) Центральная система резки (4) Электронная система отбора проб газа

(5) Система адсорбции и восстановления кислорода (6) Очиститель гелия

(7) Специальный редукторный клапан для нагнетания газа (8) Специальный пробоотборный клапан без мертвого объема
(9) Загрузочный фильтр (10) Пробный фильтр

(11) Колонна хроматографии (12) Стандартный газ
(13) Высокочистый гелий (чистота > 99,99%) (14) GC - 9560V4.0 Работа в области контрхроматографии

• Технология центральной резки для достижения полного анализа газа:
  Гелиевая ионизированная газовая хроматография GC - 9560 - HG использует многоклапанную многоколонную технологию центральной резки и обратной продувки, которая состоит из нескольких продувочных десятичных клапанов и многокорневой хроматографии, которые автоматически управляют процессами отбора проб, переключения, резки и обратной продувки с помощью временных процедур, установленных рабочей станцией.

• продувочный клапан
  GC-9560-HGОснащен оригинальным импортированным 10 - ходовым продувочным клапаном с защитным газопроводом, изготовленным VICI, плоскость клапана всегда находится в атмосфере наполнения, избегая проникновения проб и переключения пространственно - временного газа в образец, что значительно повышает чувствительность и точность обнаружения.
• Специально обработанные хроматографические колонки
  (1) В трубах хроматографической колонны используется материал из нержавеющей стали 316L, а внутренняя стенка трубы пассивируется, чтобы предотвратить адсорбцию и буксировку окиси углерода и другие проблемы
  (2) Носители хроматографических колонн подвергаются специальной обработке, чтобы избежать возникновения таких проблем, как адсорбция кислорода
  (3) Предварительно нарезанные колонны используют хроматографию Huayi, чтобы получить национальную технологию миниатюрных заполненных колонн, всесторонне улучшить разделение образцов, сбалансировать разделение, стабильность и быстроту

• многокомпонентная сепараторная система
  Образцы газа имеют разнообразные формы, в то время как широкий спектр примесей требует нескольких различных хроматографических колонн для завершения разделения всех примесей в образцах газа. Поскольку рабочие температуры Zui в разных хроматографических колоннах различны, в одной и той же колонке трудно найти лучшие рабочие температуры Zui, подходящие для работы в разных хроматографических колоннах. GC - 9560 - HG имеет многоцилиндровую конструкцию, которая эффективно решает проблемы, связанные с различными хроматографическими колоннами, требующими различных рабочих температур.
  При ежедневном обслуживании прибора, поскольку температура активации хроматографических колонн различных носителей, таких как молекулярное сито 5A, различна, в случае старения в одной и той же колонне необходимо удалить хроматографические колонны, которые не выдерживают высоких температур, а затем активировать отдельно. Многоцилиндрическая конструкция GC - 9560 - HG может эффективно решить вышеуказанные проблемы, различные хроматографические колонны могут быть активированы в разных цилиндрических коробках, избегая проблем, связанных с демонтажем хроматографических колонн при ежедневном обслуживании прибора.
• Очиститель гелия HP - 2:
  GC-9560-HGИспользование высокочистого гелия в качестве переносчика газа, чистота гелия напрямую влияет на чувствительность всего прибора к обнаружению примесей. Испытания показали, что чистота несущего газа, используемого при анализе газов высокой чистоты, по крайней мере на порядок выше, чем чистота фона образца газа.
  Очиститель гелия HP - 2 - это специальный газоочиститель, произведенный компанией VICI, очищенная матрица которого представляет собой нелетучий адсорбционный сплав, поверхность частицы сорбента имеет слой оксидной пленки, который должен быть активирован при нагревании, и процесс активации должен быть завершен в вакууме или инертном газе, что позволяет гелию свободно распространяться в течение этого периода, предотвращать образование слоя очистки кислорода и адсорбировать примесный газ. Адсорбентный материал HP обладает хорошей тепловой стабильностью, включая два диапазона температурного контроля.
  Очищаемый газ: He, Ar, Ne, Kr, Xe, Rn
  Рабочее давление Zui: 1000Psi
  Удаление газа: H₂、 O₂、 N₂、 CO、CO₂、 CH₄、 H₂O、NO、NH₃、 CF₄Подожди.
  Остаточная концентрация: 10 ppb
• входная система коррекции давления
  Традиционные хроматографы используют метод управления потоком на выходе входного клапана для управления объемом входной трубки, и испытания показали, что этот метод имеет большую аналитическую ошибку
  Например, анализ высокочистого водорода: стандартный газ - это шесть примесей, расположенных в гелии, а образец - шесть примесей в водороде; Поскольку молекулярные массы гелия и водорода различны, это приводит к тому, что вход проб при одном и том же потоке не *
  GC-9560-HGОснащается системой коррекции давления для преодоления проблемы отсутствия * входного количества проб из - за различных значений газа и обеспечения точности данных.
• Клапан для отбора проб без мертвого объема
  GC - 9560 - HG оснащен специальным пробоотборным клапаном без мертвого объема, который позволяет эффективно избегать проблем с остаточным воздухом, снижая воздействие процесса отбора проб на анализ до низкого уровня Zui.
• Специальный редукторный клапан
  Обычный декомпрессионный клапан из - за большого количества мертвого объема, непосредственно влияет на чистоту несущего газа после выхода декомпрессионного клапана, что приводит к высокой концентрации примесей на дне несущего газа, что влияет на предел обнаружения всей системы.
  Гелиевый ионизированный газофазный хроматограф GC - 9560 - HG оснащен полностью герметичным редуктором из нержавеющей стали с двухступенчатой функцией стабилизации давления, что значительно повышает стабильность давления, обеспечивает стабильность базового уровня, а также снижает мертвый объем в корпусе клапана и еще больше повышает чувствительность к обнаружению.

GC-9560-HGАналитические эффекты: