Общий обзор

Заводы по производству полупроводников, центры нанотехнологий, нанозаводы и другие центры точного производства и исследований обычно объединяют чистые камеры с мобильными псевдоназемными системами для удовлетворения сложных требований к объектам (трубопроводы, кабели, газопроводы и т.д.) и поддержания строгих стандартов очистки. Эта поверхность не подходит для чувствительного к вибрации производственного, контрольно - измерительного оборудования. Передвижная поверхность не может обеспечить необходимую спокойную вибрационную среду для этих инструментов. TMC Quiet Island заменяет часть подвижной наземной зоны « тихим островом», прикрепленным к земле внизу, предлагая инновационное решение. Quiet Island включает в себя верхнюю часть платформы, совместимую с чистой комнатой, и специальную вспомогательную структуру для приложений и мест.

Антивибрация

Основные опорные элементы и основные технологии Quiet Island * * интегрированы в активную антивибрационную систему STACIS III. Эта « жёсткая» инерциальная антивибрационная опорная система идеально подходит для любого вибрационно чувствительного прибора, который позволяет такому инструменту работать в шумной среде с высоким стандартом * *. STACIS III совместим с автоматизированными инструментами обработки кристаллических пластин, электронными лучевыми изображениями с высоким разрешением, ионно - лучевым фрезерованием и любыми инструментами с пассивными или активными внутренними виброизоляционными системами (см. нашу Белую книгу о укладке активных виброизоляторов на активных виброизоляторах). Кроме того, он обеспечивает * * виброизоляцию в широком диапазоне частот * *. И "жесткая установка" конструкция очень жесткая, поэтому для более высоких, верхних и нижних легких инструментов проблем со стабильностью не будет.

Стойка и опора

Чрезвычайно прочные вертикальные трубы для поддержки виброизоляторов STACIS были спроектированы опытной инженерной командой TMC и изготовлены на нашем заводе ISO 9001 в соответствии с высокими стандартами и сертификационными характеристиками сварки. Каждый Quiet Island хорошо спроектирован для различных движущихся высот земли, геометрии нижнего слоя и инструментальных размеров. Компания TMC установила тысячи устройств, поддерживающих более 200 различных моделей приборов по всему миру, и обладает обширными знаниями и опытом для проектирования вспомогательных структур, отвечающих требованиям STACIS и вашего оборудования.

Жесткая платформа

Платформа состоит из стальной прослойки толщиной 4 дюйма (100 мм), спроектированной и изготовленной TMC, в которой стальные листы прикреплены вокруг легкого, несжимаемого, амортизирующего материала сердечника. Жесткая сталь и сердечник склеиваются эпоксидной смолой в бесшовный диск из нержавеющей стали, что обеспечивает высокую жесткость и структурное затухание. Большое поперечное сечение и содержание стали создают очень высокую общую жесткость. Верхняя и боковая части представляют собой непрерывный монолитный корпус из нержавеющей стали для поддержания чистоты, красоты и целостности. По мере необходимости TMC может проектировать и изготавливать платформы, специально предназначенные для применения, включая разрезы, специальные формы, фиксированные отверстия и болты с кольцами.

Quiet Islands vs. Quiet Buildings

Designing a facility to meet the stringent Vibration Criteria of extremely precise imaging equipment can be very challenging, and often cost-prohibitive, particularly when not all tools in the facility require these very low vibration levels.[1]

Statistical representation (in terms of Mean plus Sigma Spectra) of vertical vibrations in a typical semiconductor fab production area at 'as built' and two times thereafter [2]

It is very difficult to isolate very large areas such as entire buildings, or an entire floor. It is also well documented that building vibration levels will increase relative to a design specification as the facility is populated with equipment and people. Repeated vibration measurements a few months, or a year later, show that floor vibration levels typically rise over time.[2]

The more cost effective and successful approach for achieving the stringent requirements of vibration sensitive tools, is to employ point-of use active vibration control with serial piezoelectric technology, particularly to mitigate challenging low frequency (less than 5 Hz) vibration (example here).

TMC can work with the your team to design a tool-specific Quiet Island solution. This process allows us to look at each tool specifically and provide the best performing solution. A building design incorporating one large concrete sub-floor “slab” with a “raised floor” allows for flexibility of tool selection post-construction. Replacing the raised floor with a Quiet Island only where needed provides the most sensitive tool set with a vibration environment an order of magnitude, at least, lower than the sub-floor.

See also The Benefits of Including Floor Vibration Control for Nano-Tech Facilities over Designing 'Quiet' Buildings article on AZO Nano.

1Evolving criteria for research facilities: I – Vibration, Colin Gordon Associates, SPIE Conference 5933: Buildings for Nanoscale Research and Beyond, 2005, Source

2Maturation of the Vibration Environment in Advanced Technology Facilities, Colin Gordon Associates, Journal of the IEST, V. 48, No. 1, 2005, Source

Преимущества Quiet Island

Активная пьезоэлектрическая амортизация с использованием технологии STACIS - TMC Industries * *, конструкция « жесткой установки» и виброизоляция с частотой 0,6 Гц совместимы со встроенными инструментами виброизоляции.

Гибкость модульности, настройки и переориентации - каждая платформа адаптирована к приложениям клиента, но в отличие от бетонных платформ, которые могут быть легко перенастроены, если меняются инструменты или наземные характеристики.

Опыт - TMC обладает обширным опытом сотрудничества с * * производителями полупроводников, научно - исследовательскими институтами и сверхточными OEM. Мы понимаем клиентов и их потребности. Мы сами проектируем и производим.

Свойства

На 24 - дюймовом, 40 - дюймовом и 60 - дюймовом Quiet Island, 4 опорах STACIS,
Измерение скорости передачи при входе VC - C с земли

Спецификация

Технические характеристики

Конструкция, размер, окружающая среда и требования к полезности виброизолятора

Технические характеристики контроллера DC - 2020

Другие параметры

ПрочееНастройка Quiet Island

Крупные приборы, не имеющие спецификаций вибрации окружающей среды, обычно требуют жесткой и стабильной опоры, отделенной от движущейся земли. Жесткий Quiet Island - идеальное решение. Жесткий Quiet Island имеет ту же самую высокопроизводительную верхнюю часть платформы и может быть спроектирован для любой высоты, любой геометрии нижнего слоя земли с подвижной поверхностью и различных размеров инструмента. TMC предлагает широкий спектр различных типов опор для удовлетворения различных потребностей, создавая модульные, гибкие решения для переориентации и модернизации, специально предназначенные для приборов и заводов.

Применить фотографии

Благодаря установке на Quiet Island ® Сложность, чувствительность и ценность оборудования на базовой наземной платформе, мы не создали стандартный каталог для заказаНомер 1.

Мы считаем, что каждая платформа должна быть адаптирована для конкретных приложений. Рекомендуются следующие этапы заказа:

▪ Расскажите нам об устройствах или приборах, которые вы хотите изолировать. Поскольку мы установили тысячи устройств, у нас может быть дизайн платформы, который отвечает требованиям вашего приложения. Кроме того, мы поддерживаем тесные контакты с производителями шаговых устройств, выравнивателей, SEM и других инструментов, поэтому мы понимаем * * новые размеры, формы, изменения веса и спецификации вибрации земли.

▪ Или вам может понадобиться платформа, подходящая для активной наземной сеточной системы. Клиенты обычно выбирают платформу 47 x 47 дюймов (1190 x 1190 мм) для замены четных блоков.

▪ Скажите нам, что ваш движущийся пол выше высоты твердого нижнего слоя.

▪ Пожалуйста, опишите или предоставите нам иллюстрацию, показывающую любой рисунок отверстия в геометрии вашего нижнего слоя земли или стальной балки / решетки.

▪ Пожалуйста, предоставьте нам данные о вибрации земли или обсудите с нами, как организовать измерения этих данных.

▪ Рассмотрим вибрационную чувствительность прибора. Наша жесткая, не резонансная конструкция опор обеспечивает достаточную поддержку для многих инструментов. Для более чувствительных применений потребуется воздушная или пьезоэлектрическая поддержка.