Тонкообразный датчик давления CYG511 предназначен для распределения поля давления на поверхности экспериментальной модели в аэродинамических исследованиях. Он особенно подходит для применения в условиях, когда модель тонкая и не может быть установлена с помощью перфорации микрозондового датчика. Установка тонких датчиков непосредственно на поверхности модели или выкапывание неглубоких ям. Его очень тонкие специальные гибкие провода могут быть прикреплены непосредственно к поверхности модели. Поэтому он практически не влияет на измеренное поле течения.
Элементы CYG511, чувствительные к давлению, спроектированы и изготовлены с использованием передовых технологий MEMS. Трехмерная интеграция, двухсторонняя обработка силиконовых чувствительных к давлению элементов с отличной линейной точностью, ионной инжекцией, точной фотолитографией, изготовленной из высокой согласованности деформационного моста Уистона, так что он имеет небольшой температурный дрейф, микромеханическую обработку тела, прецизионную анизотропную коррозию и технологию прямого соединения кремниевого кремния, что делает силиконовую мембранную чувствительную структуру высокой чувствительностью, отличной стабильностью, отличной динамической производительностью и сверхтонкой толщиной. Его общая толщина интегрированной силовы - чувствительной конструкции с усиленной подложкой составляет всего 0,6 мм, что в большей степени способствует получению тонких датчиков конечного размера.
CYG511 - это режим измерения абсолютного давления со стандартным диапазоном давления 100, 160, 250, 400, 600, 1000, 1600, 2500, 4000 кПа.
CYG511 имеет форму тонкой круглой пряжки. Номинальный диаметр - F 8 мм, толщина - 2,2 мм, выход - 5 линий гибких проводов длиной 1 м, в конце 1 м соединяются балансиры компенсации моста, изготовленные из пластин ПХБ, толщина гибких проводов - 0,15 мм, ширина - 4 мм.
Поскольку CYG511 имеет фронтальное давление с чувствительными элементами, он подходит для сухих газов, которые полностью не коррозионны и не проводят электричество. Он имеет довольно широкий диапазон рабочих температур и очень хорошие динамические частотные характеристики, которые могут использоваться в диапазонах от низких до нулевых частот и до тысяч Гц. Если диэлектрические факторы сложны и имеют высокое содержание воды, можно использовать CYG511S, покрытый силиконовым гелем для защиты поверхностей и электродов (силиконовый гель снижает его динамические частотные свойства). Продукт CYG511P, использующий тонкопленочный органический материал для покрытия защиты, имеет меньшие потери динамического частотного шума из - за толщины защитной пленки в диапазоне um, более длительный специальный цикл и более высокую стоимость.
1. Параметры показателей эффективности:
| Показатель / класс | Нелинейная точность ±% FS |
гистерезисное повторение %FS |
нулевой температурный коэффициент х 10-4ПС / °С |
температурный коэффициент чувствительности х 10-4ПС / °С |
дрейф при нулевом положении <mv/8h |
| JA | 0.5 | 0.1 | 5 | 5 | 0.2 |
| JB | 0.2 | 0.1 | 2 | 2 | 0.1 |
Полный выход: минимум 30 мв Типовое значение 80 мв Максимальное значение 130 мв
Сопротивление ввода - вывода: минимум 3 кОмега типичное 5 кОмега максимальное 7 кОмега
Введите рабочий ток: 1 мА (постоянный источник)
5. Диапазон рабочих температур: - 55°C - + 120°C
6, Компенсационный температурный диапазон: - 10°C - + 80°C
Мощность перегрузки: 200% от номинального диапазона
8 Чувствительность к ускорению: < 0001% FS / g
9. График размеров:

