Требования к измерениям
Сканирующая панель трехмерная форма поверхности зонда, извлечение профиля для измерения износа верхней части зонда

Обзор основных характеристик
1. Бесконтактные измерения, интегрированное проектирование

2. Трехмерное физическое сканирование, многофункциональная обработка данных
Точные измерения для различных материалов

4.Простота использования, удобство сборки и разборки

5.Скорость сканирования, высокая точность позиционирования

Гарантия точности повторения ±0,5 - ±1 мкм

7.Высокая стабильность, сильная антиинтерференционная способность

результаты измерений
Высота зонда до износа около 100 мкм, после износа около 80 мкм

Решение проблем с измерительными приборами на данном этапе

Есть определенные требования к измерительным материалам
2. Контактные измерения, повреждение измерительных материалов
3.Малый диапазон измерений, неопределенное местоположение, трудности измерения
4.Медленная скорость измерения, низкая точность, большая погрешность измерения

5. Сложная структура, высокая стоимость