Масс - спектрометр управления процессом Atonarp Aston ™- Глобальные поставщики

Новый район Пудун, Шанхай Xinjinqiao Road, 1888, 36, 7 - й этаж, комната 702, 201206

Масс - спектрометр управления процессом Atonarp Aston ™ Технические характеристики:

Универсальные инструменты для управления процессами в реальном времени, коррозионно - стойкие газы, антикоагуляция
Полупроводниковая платформа для молекулярного анализа на месте, обеспечивающая данные в режиме реального времени
Использование плазменного источника ионизации, без проволоки, более долговечный
Полностью интегрирован с инструментами массового производства.
Aston ™ Масс - спектрометрический анализатор процессовКак мощная платформа, которая может заменить множество традиционных инструментов, обеспечивая беспрецедентный уровень управления, включая фотолитографию, диэлектрическое и электропроводящее травление и осаждение, очистку полости, согласование полости и растворение.

Aston ™ Масс - спектрометрический анализатор процессовТехнические параметры

Тип	Impact-300	Impact-300DP	Plasma-200	Plasma-200DP	Plasma-300	Plasma-300DP
Тип	AST3007	AST3006	AST3005	AST3004	AST3003	AST3002
Массовое разделение	Четырехступенчатый стержень
Вакуумная система	Молекулярный насос	Молекулярный насос диафрагменный насос	Молекулярный насос	Молекулярный насос диафрагменный насос	Молекулярный насос	Молекулярный насос диафрагменный насос
Детектор	FC /SEM
Диапазон качества	2 - 285		2 - 220		2 - 285
Разрешение	0,8 ± 0,2
Контрольный предел	0.1 PPM
Рабочая температура	15 - 35 "°С
Мощность	350 W
Вес	15 kg
Размер	299 x 218 x 331 LxWxH(mm)		400 x 240 x 325 LxWxH(mm)

Atonarp Aston™ Применение: значительное развитие управления и оптимизации процессов полупроводникового процесса, повышение производительности, пропускной способности и эффективности процесса производства полупроводников
Aston ™ Это новый компактный онлайн - масс - спектрометр с прочной конструкцией, предназначенный для мониторинга и управления газом в производстве полупроводников и промышленных процессах, с высокой точностью и в реальном времени в сочетании с надежностью и надежностью производства, таких как анализ обнаружения выхлопных газов полупроводника dry pump, для достижения онлайн - мониторинга и диагностики.
CVD / ALD: Переход оксида - нитрида и анализ состава
Etch/ALE End Point :<0.3%
Chamber Matching: Идентификация отслеживающих молекул
Aston™ 半导体在线质谱仪应用

Если вам нужно знать большеAtonarp Aston ™ Онлайновый масс - спектрометрДля получения дополнительной информации или обсуждения см. следующие контактные данные:
Шанхай Бодун: Мисс Е. Тайвань Бодун: Мисс Ван
T: +86-21-5046-3511 ext 109 T: +886-3-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1490 F: +886-3-567-0049
M: + 86 1391 - 883 - 7267 (тот же номер WeChat) M: + 886 - 939 - 653 - 958

В настоящее время некоторые бренды добросовестно нанимают агентов по сотрудничеству, заинтересованные стороны приветствуют контакты с мисс Шанхай Бодунье 1391 - 883 - 7267
Shanghai Bodong Авторские права, копия должна быть изучена!