Ионно - гелиевый хроматограф для анализа тетрафторуглерода
Ионная хроматография гелия предназначена для обнаружения следовых примесей в газах электронной промышленности с небольшой концентрацией обнаружения до
Подробная информация о продукции
- Описание продукции
Ионно - гелиевый хроматограф для анализа тетрафторуглеродаОснащен высокочувствительным детектором ионизации гелия, использует технологию центральной резки Huari, входной клапан имеет защитный газопровод продувки; Вся машина спроектирована с использованием многоцилиндровой коробки и оснащена автоматической системой коррекции давления входящего образца для обеспечения количества проб различных образцов нижнего газа. Продукция была удостоена шанхайского проекта преобразования высокотехнологичных достижений класса А.
Проекты | Показатели | ||
Тетрафторуглероды (CF)4) Чистота (доля объема) / 10-2 | 99.999 | 99.995 | 99.99 |
Азот (N)2Содержание (объемная доля) / 10-6< | 4 | 20 | 40 |
Кислород + аргон (O)2+ Ar) Содержание (объемная доля) / 10-6< | 1 | 5 | 10 |
Углекислый газ (CO)2Содержание (объемная доля) / 10-6< | 1 | 5 | 10 |
Содержание окиси углерода (CO) (доля объема) / 10-6< | 0.1 | 0.5 | 1 |
Гексафторид серы (SF)6Содержание (объемная доля) / 10-6< | 1 | 1 | 5 |
Вода (H)2О) Содержание (объемная доля) / Содержание, 10-6< | 3 | 5 | 10 |
Кислотность (в HF) Содержание (объемная доля) / 10-6< | 0.1 | 0.3 | 0.3 |
Другие галогенированные соединенияaСодержание (объемная доля) / 10-6< | 1 | 10 | 30 |
Общее содержание примесей (доля объема) / l0-6 | 10 | 50 | 10 |
Частицы | Предложение и спрос | Предложение и спрос | Предложение и спрос |
Другие галогенированные соединения включают гексафторэтан, октафторпропан и т.д.
|
Онлайн - запросы