Масс - спектрометрия плазмы с индуктивной связью - ICP - MS - это новая технология неорганического и изотопного анализа, которая позволяет быстро и одновременно обнаруживать почти все элементы в периодической таблице. Технология ICP - MS, превосходящая по аналитическим возможностям традиционные неорганические аналитические методы, такие как спектроскопия плазмы с индуктивной связью (ICPAES), атомное поглощение в графитовой печи (GFAAS) и атомное поглощение с ртутным охлаждением (CVAAS) вместе взятые, известна как самая захватывающая разработка современной аналитической технологии.

Области применения технологии Agilent ICP - MS включают:
• анализ проб окружающей среды, включая анализ водопроводной воды, поверхностных вод, грунтовых вод, морской воды и различных почв, отходов и т.д.;
• Анализ полупроводниковых материалов
• Анализ образцов, таких как стекло, керамика и металлургия;
• Геологические исследования;
• клинические исследования в области биопродовольствия и медицины;
• Анализ ядерных материалов
• Анализ проб нефтехимической продукции;
• судебно - медицинские прикладные программы и исследования;
• В последнее время использование валентного и морфологического анализа элементов в сочетании с технологией разделения в таких областях, как токсикология окружающей среды и наука о жизни, стало центром применения технологии ICP - MS.
Аналитические характеристики ICP - MS:
Быстрое одновременное обнаружение практически всех элементов периодической таблицы.
Минимальный предел обнаружения (до уровня ppq)
Анализ оптимального соотношения выгод / затрат
Самый широкий линейный динамический диапазон - может непосредственно обнаруживать концентрации от ppq до сотен ppm
• Спектральные линии просты, помехи минимальны, точность и точность хороши
• Требуется очень низкий объем образца (от ul до ml) и высокая скорость анализа (1 - 3 минуты / образец)
• Гибкие и разнообразные модели тестирования
Анализ сверхследовых загрязнителей в материалах, обычно используемых в полупроводниковой промышленности:
Твердые: Si; GaAa монокристаллический срез; Кварц, карбид кремния и другие материалы печи; Металлические электроды высокой чистоты
Жидкость: сверхчистая вода; HF;HNO3; HCI; H2SO4; H2O2; Амин и т.д.
Газ: SiH4; TE0S; NF3; Уровень N2
Agilent ICP - MS может непосредственно анализировать органические образцы:
Высокоэффективная технология Agilent ICP - MS с высокомощным экранированным матричным охлаждением плазмы была использована для определения следов загрязняющих элементов класса ppt в ряде органических образцов.
Для некоторых из этих образцов другие методы не дали удовлетворительных результатов, и единственным методом анализа была технология холодной плазмы с мощным экранирующим моментом.
• Сильные щелочные моющие средства - тетраметилгидрид аммиака (TMAH) и т.д.
• Часто используемые органические растворители - толуол, ксилол, ИПА и т.д.
• Образцы с высокой базой - фоторезисты, жидкие кристаллы, BPSG, PSG и другие чрезвычайно летучие моющие средства - ацетон, метанол и т.д.